碱抛上下料设备
多年来，二所立足自主装备，与工业融合，形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力。
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用于光伏电池碱抛及去BSG/PSG工序。硅片从工艺主机流出，传输至自动化内装满花篮，并实现与AGV的对接。设备运行稳定可靠，整合高效，人机交互简单便当。
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硅片尺寸： 182-230mm（方片及半片）
硅片厚度： 120-200µm
产能：12道≥16000Pcs/H ，10道≥13000Pcs/H，半片≥32000Pcs/H
碎片率：182尺寸≤0.02%；220尺寸≤0.03%
不良比例：1、错槽、双片不可有；2、PL与EL不良之和≤0.02%
插片整齐度：偏差≤2mm
兼容花篮： 182：240×250×700mm或230：272×272×700mm
高精度机械人搬送花篮
碎片率≤0.01% Uptime≥99%；
欧博abg建立于1962年，是我国以智能制造、微电子装备及应用、碳化硅装备及应用、新能源装备及应用等产品研爆发产的主干单位。多年来，二所立足自主装备，与工业融合，形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力。
二所是欧博abg部“国家第三代半导体技术立异中心（山西）”、欧博abg部“国家欧博abg相助基地”、工信部“智能制造试点示范”、国防科工局“军用微组装技术立异中心”、山西省“宽禁带半导体制备重点实验室”、山西省“微组装工程技术研究中心”、山西省“微电子智能制造装备立异中心”等的主建和依托单位。近年来，获得国家、省部级奖项11项。
站在新的历史起点，二所将以人工智能和半导体技术为焦点，强化以军为本、以民为主的立异链和以装备为本、以应用为主的工业链，实施智能制造、微电子、SiC和新能源工业跃升计划，不绝提升焦点竞争力和盈利能力，形成良好可连续的高质量生长态势。
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