镀膜上下料设备
多年来，二所立足自主装备，与工业融合，形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力 。
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- 产品描述
- 详细参数
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用于光伏电池镀膜工序 。将经过管式PECVD工艺处理后的石墨舟内的硅片自动化取出装篮，并将没经过工艺处理的硅片自动化妆入石墨舟 。降低人工强度及碎片率，减少人工接触硅片，有效提升制品率和转换率 。
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设备兼容：18X±0.5mm*18X±0.5mm至230±0.5mm*230±0.5mm；单晶硅片，方片/准方片/矩形片；
基于硅片尺寸182*182至182*192单台产能：≥8000 Pcs/H
基于硅片尺寸182*193至182*21X单台产能:≥7800 Pcs/H
基于硅片尺寸2X0*2X0单台产能:≥6800 Pcs/H
基于硅片尺寸182*182至182*192碎片率：≤0.02%（不含炉碎）；
基于硅片尺寸182*193至182*21X碎片率：≤0.03%（不含炉碎）；
基于硅片尺寸2X0*2X0碎片率：≤0.03%（不包括炉碎） 。
自动化导致的返工率要求:≤0.03% 。
设备外形尺寸（长*宽*高）：不凌驾12.8m*2.6m*3m 。
机械人吸盘模组单片之间精度:0.001mm
整机精度：0.025mm
品质要求：吸盘印、划伤、崩边、皮带印、石墨舟擦伤、舟印、隐裂或因传输不稳定造成的异常不良等不良片，单工序总不良率低于：≤0.03%
吸盘片材质选用较轻的碳纤维，相关于铝合金少1Kg，机械人运行更快、更稳；
吸附组通过激光测距传感器检测校准，具有超高精度
欧博abg建立于1962年，是我国以智能制造、微电子装备及应用、碳化硅装备及应用、新能源装备及应用等产品研爆发产的主干单位 。多年来，二所立足自主装备，与工业融合，形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力 。
二所是欧博abg部“国家第三代半导体技术立异中心（山西）”、欧博abg部“国家欧博abg相助基地”、工信部“智能制造试点示范”、国防科工局“军用微组装技术立异中心”、山西省“宽禁带半导体制备重点实验室”、山西省“微组装工程技术研究中心”、山西省“微电子智能制造装备立异中心”等的主建和依托单位 。近年来，获得国家、省部级奖项11项 。
站在新的历史起点，二所将以人工智能和半导体技术为焦点，强化以军为本、以民为主的立异链和以装备为本、以应用为主的工业链，实施智能制造、微电子、SiC和新能源工业跃升计划，不绝提升焦点竞争力和盈利能力，形成良好可连续的高质量生长态势 。
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